鎢燈絲掃描電鏡總發(fā)射電流和束斑都較大，抗干擾能力和穩(wěn)定性都較好，低真空下可以對不導電樣品無荷電成像，可用于形貌觀察、顯微結構分析、斷口形貌分析，在材料、地質、礦產、冶金、機械、化學、化工、物理、電子、生物、醫(yī)學等領域都有廣泛的用途。

 

工作原理：

通過對電子槍內的鎢燈絲加高電壓，使電子槍處于熱激發(fā)狀態(tài)，在陽極作用下，處于熱激發(fā)的電子槍就可以激發(fā)出電子束。經過掃描線圈磁場的控制，電子束在樣品表面逐點掃描，激發(fā)出二次電子、背散射電子等物理信號，經探測器收集、放大器放大后，調制得圖像。鎢燈絲掃描電鏡適合大量的常規(guī)檢測。

 

JSM-IT500 鎢燈絲掃描電子顯微鏡是JEOL InTouchScope系列推出的新機型。有哪些優(yōu)勢特點呢？

 

一、Zeromag

 

從樣品座圖形和CCD圖像上可以尋找視野和分析位置。尋找視野非常輕松，多視野連續(xù)分析的位置也很容易。

光學CCD圖像和SEM圖像的結合和無縫操作大大提高工作效率！

利用Zeromag很容易設定大面積的蒙太奇區(qū)域，有利于成像和觀察。蒙太奇功能在斷裂分析和大區(qū)域中識別異物等從大面積區(qū)域上獲取詳細信息時非常有效。

 

二、實時分析，SEM和EDS一體化集成     

 

在SEM圖像觀察過程中，進行EDS分析                      

利用Live Analysis功能，可在觀察窗口中進行被觀察區(qū)域的EDS分析。可以很容易地找到自己感興趣的元素，還能發(fā)現(xiàn)意料之外的元素。

①顯示存在于測試區(qū)域中的主元素。能元素并顯示“Alert”。

②會顯示分析區(qū)域的特征X射線譜圖和自動定性分析結果。

③一鍵點擊就可以在電鏡操作界面和詳細分析顯示界面間切換。

 

三、數(shù)據(jù)集中管理軟件SMILE VIEW™ Lab，無縫創(chuàng)建報告                  

 

SMILE VIEW™ Lab是能集中管理與樣品臺位置聯(lián)動的CCD圖像、SEM圖像、EDS分析結果等數(shù)據(jù)并快速生成報告的數(shù)據(jù)管理器。查看以前獲得的數(shù)據(jù)、重新分析，生成報告等都非常簡便。

①顯示各個視野的名稱。

②能根據(jù)樣品名、創(chuàng)建日期和數(shù)據(jù)類型等搜索數(shù)據(jù)。

③在樣品座圖形或CCD圖像上顯示各個視野的位置。

④會列表顯示被選區(qū)域的元素圖、譜圖等的數(shù)據(jù)和定量分析結果等。